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Titolo | Data di pubblicazione | Autore(i) | File |
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Periodic Arrays of Dopants in Silicon by Ultralow Energy Implantation of Phosphorus Ions through a Block Copolymer Thin Film | 1-gen-2023 | Kuschlan, Stefano; Chiarcos, Riccardo; Laus, Michele; Pérez-Murano, Francesc; Llobet, Jordi; Fernandez-Regulez, Marta; Bonafos, Caroline; Perego, Michele; Seguini, Gabriele; De Michielis, Marco; Tallarida, Graziella |
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